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ポリシリコン

ポリシリコン
ポリシリコン

ポリシリコンの製造工程【還元】

還元

還元

金属反応炉(還元炉)内に設置された8mm程度の何本もの細いシリコン芯(シード)を通電加熱(約1,000℃以上)しておき、精製された高純度トリクロロシランの蒸気と水素を混合したガスを流すと、シリコン芯の表面にシリコンが析出し、太い棒状に生成された高品位のポリシリコンが得られます。これが純度イレブンナインの高純度ポリシリコンです。同時に副生する四塩化珪素や水素ガスは回収、再利用されます。

仕上げ【加工・洗浄・検査・梱包】

検査

検査

還元工程で製造されたポリシリコンはダイヤモンドカッター等で用途に応じた形に加工し、混酸によるエッチング(ポリシリコン表面を溶かす)と純水による洗浄を行い、外観検査の後、梱包出荷します。

ポリシリコンの特徴

当社のポリシリコン製品は、超高純度(99.999999999%=イレブン・ナイン)の品質を誇り、半導体ウェーハ事業を支える単結晶シリコンの原材料として用いられています。

主な用途

半導体用単結晶シリコンの原料

製品規格

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