高純度チタン

高純度チタンの製造

当社は1952年の量産開始以来、日本のスポンジチタン製造のパイオニアとして、展伸材用のスポンジチタンを製造してきました。現在さらに4N（純度99.99％以上）〜5N（純度99.999％以上）の高純度チタンを製造・供給しています。これらの高純度チタンは、独自の改良を加えたクロール法（四塩化チタンの金属マグネシウム還元法）で製造しています。

高純度チタンの特徴

高純度チタンには、4N（純度99.99％以上）、4N5（純度99.995％以上）、5N（純度99.999％以上）などがあります。特徴は、クロール法での製造を可能にしたことにより、原料となる高純度スポンジチタンを大量に製造できるようにしたことです。この高純度スポンジチタンから、真空アーク溶解法で大型インゴットを製造し、その後ビレットとしてユーザーに供給しています。
 

用途

半導体用スパッタリングターゲット
 

高純度チタン品質規格例

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